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RIE

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产品名称:RIE
产品编号:20209-329
上架时间:2018/11/24
浏览次数:2024

产品详情

简介

https://baike.baidu.com/item/RIE/7855422

【刻蚀工艺_百度百科】https://mr.baidu.com/40u91ms?f=cp

在半导体干法刻蚀工艺中,根据待刻蚀材料的不同,可分为金属刻蚀、介质刻蚀和硅刻蚀。金属刻蚀又可以分为金属铝刻蚀、金属钨刻蚀和氮化钛刻蚀等。




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